সংবাদ

ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং প্রযুক্তি কনসোলিডেশন অ্যাব্রেসিভ কাটিং প্রযুক্তি নামেও পরিচিত। এটি এমন একটি পদ্ধতি যেখানে স্টিল ওয়্যারের পৃষ্ঠে ইলেক্ট্রোপ্লেটিং বা রেজিন বন্ডিং পদ্ধতির মাধ্যমে ডায়মন্ড অ্যাব্রেসিভকে জমাটবদ্ধ করা হয় এবং ডায়মন্ড ওয়্যার সরাসরি সিলিকন রড বা সিলিকন ইনগটের পৃষ্ঠে কাজ করে গ্রাইন্ডিং তৈরি করে কাটিং-এর প্রভাব অর্জন করে। ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং-এর বৈশিষ্ট্য হলো দ্রুত কাটিং গতি, উচ্চ কাটিং নির্ভুলতা এবং কম উপাদান ক্ষয়।

বর্তমানে, ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং সিলিকন ওয়েফারের একক ক্রিস্টাল বাজার সম্পূর্ণরূপে গৃহীত হয়েছে, কিন্তু এর প্রসারের প্রক্রিয়ায় কিছু সমস্যার সম্মুখীনও হতে হয়েছে, যার মধ্যে ভেলভেট হোয়াইট সবচেয়ে সাধারণ সমস্যা। এই প্রেক্ষাপটে, এই গবেষণাপত্রে ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের ভেলভেট হোয়াইট সমস্যা কীভাবে প্রতিরোধ করা যায়, তার উপর আলোকপাত করা হয়েছে।

ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের পরিষ্কারকরণ প্রক্রিয়া হলো, ওয়্যার স মেশিন টুল দ্বারা কাটা সিলিকন ওয়েফারকে রেজিন প্লেট থেকে আলাদা করা, রাবার স্ট্রিপটি সরানো এবং সিলিকন ওয়েফারটি পরিষ্কার করা। পরিষ্কারকরণ সরঞ্জাম প্রধানত একটি প্রি-ক্লিনিং মেশিন (ডিগামিং মেশিন) এবং একটি ক্লিনিং মেশিন। প্রি-ক্লিনিং মেশিনের প্রধান পরিষ্কারকরণ প্রক্রিয়া হলো: ফিডিং-স্প্রে-আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং-ডিগামিং-পরিষ্কার জল দিয়ে ধোয়া-আন্ডারফিডিং। ক্লিনিং মেশিনের প্রধান পরিষ্কারকরণ প্রক্রিয়া হলো: ফিডিং-বিশুদ্ধ জল দিয়ে ধোয়া-ক্ষার দিয়ে ধোয়া-ক্ষার দিয়ে ধোয়া-বিশুদ্ধ জল দিয়ে ধোয়া-বিশুদ্ধ জল দিয়ে ধোয়া-প্রি-ডিহাইড্রেশন (ধীর উত্তোলন)-শুকানো-ফিডিং।

একক-স্ফটিক মখমল তৈরির নীতি

মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের অ্যানাইসোট্রপিক ক্ষয়ের বৈশিষ্ট্য হলো এটি। এর বিক্রিয়ার নীতিটি হলো নিম্নলিখিত রাসায়নিক বিক্রিয়া সমীকরণ:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

মূলত, সোয়েড গঠন প্রক্রিয়াটি হলো: NaOH দ্রবণের কারণে বিভিন্ন ক্রিস্টাল পৃষ্ঠের ক্ষয়ের হার ভিন্ন হয়, (100) পৃষ্ঠের ক্ষয়ের গতি (111) পৃষ্ঠের চেয়ে বেশি হয়, ফলে মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারে (100) পৃষ্ঠের অসম ক্ষয়ের পর অবশেষে (111) পৃষ্ঠের উপর একটি চতুর্ভুজাকার শঙ্কু, অর্থাৎ “পিরামিড” কাঠামো গঠিত হয় (চিত্র ১-এ দেখানো হয়েছে)। কাঠামোটি গঠিত হওয়ার পর, যখন আলো একটি নির্দিষ্ট কোণে পিরামিডের ঢালে আপতিত হয়, তখন আলো অন্য একটি কোণে ঢাল থেকে প্রতিফলিত হয়ে দ্বিতীয় বা আরও বেশি শোষণ তৈরি করে, যার ফলে সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের প্রতিফলন ক্ষমতা কমে যায়, অর্থাৎ আলোক ফাঁদ প্রভাব (চিত্র ২ দেখুন)। “পিরামিড” কাঠামোর আকার এবং একরূপতা যত ভালো হবে, ফাঁদ প্রভাব তত স্পষ্ট হবে এবং সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠ থেকে নির্গত আলোর পরিমাণ তত কম হবে।

h1

চিত্র ১: ক্ষার উৎপাদনের পর মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের অণুরূপবিদ্যা

h2

চিত্র ২: “পিরামিড” কাঠামোর আলোক ফাঁদের নীতি

একক স্ফটিক শুভ্রকরণের বিশ্লেষণ

সাদা সিলিকন ওয়েফারের উপর স্ক্যানিং ইলেকট্রন মাইক্রোস্কোপ দিয়ে পরীক্ষা করে দেখা গেছে যে, ওই অঞ্চলের সাদা ওয়েফারের পিরামিড আকৃতির অণুসজ্জা মূলত গঠিত হয়নি এবং এর পৃষ্ঠে একটি "মোমসদৃশ" অবশেষের স্তর রয়েছে বলে মনে হয়েছে, যেখানে একই সিলিকন ওয়েফারের সাদা অংশের মখমলের মতো পিরামিড আকৃতি আরও ভালোভাবে গঠিত হয়েছে (চিত্র ৩ দেখুন)। যদি মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে অবশেষ থাকে, তবে পৃষ্ঠে অবশিষ্ট অঞ্চলের "পিরামিড" আকৃতির গঠন আকার ও সমরূপতায় তৈরি হয় এবং স্বাভাবিক অঞ্চলের প্রভাব অপর্যাপ্ত থাকে, যার ফলে অবশিষ্ট মখমলের মতো পৃষ্ঠের প্রতিফলন ক্ষমতা স্বাভাবিক অঞ্চলের চেয়ে বেশি হয়, এবং স্বাভাবিক অঞ্চলের তুলনায় উচ্চ প্রতিফলন ক্ষমতাসম্পন্ন এই অঞ্চলটি দৃশ্যত সাদা হিসাবে প্রতিফলিত হয়। সাদা অঞ্চলের বিন্যাসের আকৃতি থেকে দেখা যায় যে, এটি বড় এলাকা জুড়ে নিয়মিত বা সুষম আকৃতির নয়, বরং কেবল স্থানীয় কিছু এলাকায় এমন। ধারণা করা হয় যে, সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের স্থানীয় দূষকগুলো পরিষ্কার করা হয়নি, অথবা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের অবস্থাটি গৌণ দূষণের কারণে সৃষ্ট।

h3
চিত্র ৩: ভেলভেট হোয়াইট সিলিকন ওয়েফারের আঞ্চলিক অণুকাঠামোগত পার্থক্যের তুলনা

ডায়মন্ড ওয়্যার দিয়ে কাটা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠতল আরও মসৃণ হয় এবং ক্ষতি কম হয় (চিত্র ৪-এ দেখানো হয়েছে)। মর্টার সিলিকন ওয়েফারের তুলনায়, ক্ষার এবং ডায়মন্ড ওয়্যার দিয়ে কাটা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠতলের প্রতিক্রিয়ার গতি মর্টার দিয়ে কাটা মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের চেয়ে ধীর, তাই ভেলভেট এফেক্টের উপর পৃষ্ঠতলের অবশিষ্টাংশের প্রভাব আরও স্পষ্ট হয়।

h4

চিত্র ৪: (ক) মর্টার দ্বারা কাটা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠতলের অণুবীক্ষণিক চিত্র (খ) ডায়মন্ড তার দ্বারা কাটা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠতলের অণুবীক্ষণিক চিত্র

ডায়মন্ড ওয়্যার-কাট সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের প্রধান অবশিষ্ট উৎস

(1) কুল্যান্ট: ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং কুল্যান্টের প্রধান উপাদানগুলি হল সারফ্যাক্ট্যান্ট, ডিসপারস্যান্ট, ডিফোমিং এজেন্ট এবং জল ও অন্যান্য উপাদান। চমৎকার কর্মক্ষমতা সম্পন্ন কাটিং তরলের ভালো সাসপেনশন, ডিসপারশন এবং সহজে পরিষ্কার করার ক্ষমতা থাকে। সারফ্যাক্ট্যান্টগুলির সাধারণত ভালো হাইড্রোফিলিক বৈশিষ্ট্য থাকে, যা সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কার করার প্রক্রিয়ায় সহজে পরিষ্কার করা যায়। জলে এই অ্যাডিটিভগুলির ক্রমাগত নাড়াচাড়া এবং সঞ্চালনের ফলে প্রচুর পরিমাণে ফেনা তৈরি হয়, যার ফলে কুল্যান্টের প্রবাহ কমে যায়, শীতল করার কর্মক্ষমতা প্রভাবিত হয় এবং গুরুতর ফেনা এমনকি ফেনা উপচে পড়ার সমস্যা দেখা দেয়, যা এর ব্যবহারকে মারাত্মকভাবে প্রভাবিত করে। তাই, কুল্যান্টের সাথে সাধারণত ডিফোমিং এজেন্ট ব্যবহার করা হয়। ডিফোমিং কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করার জন্য, প্রচলিত সিলিকন এবং পলিইথার সাধারণত দুর্বল হাইড্রোফিলিক হয়। জলের দ্রাবক খুব সহজে শোষিত হয় এবং পরবর্তী পরিষ্কারের সময় সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে থেকে যায়, যার ফলে সাদা দাগের সমস্যা দেখা দেয়। এবং এটি কুল্যান্টের প্রধান উপাদানগুলোর সাথে ভালোভাবে সামঞ্জস্যপূর্ণ নয়, তাই এটিকে দুটি উপাদানে তৈরি করতে হয়। প্রধান উপাদান এবং ডিফোমিং এজেন্ট পানিতে যোগ করা হয়। ব্যবহারের প্রক্রিয়ায়, ফেনার পরিস্থিতি অনুযায়ী, অ্যান্টিফোম এজেন্টের ব্যবহার এবং ডোজ পরিমাণগতভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায় না, ফলে সহজেই অ্যান্টিফোমিং এজেন্টের অতিরিক্ত ডোজ হয়ে যেতে পারে, যা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে অবশিষ্টাংশ বৃদ্ধি করে এবং পরিচালনা করাও আরও অসুবিধাজনক হয়ে ওঠে। তবে, কাঁচামাল এবং ডিফোমিং এজেন্টের কাঁচামালের কম দামের কারণে, বেশিরভাগ দেশীয় কুল্যান্ট এই ফর্মুলা সিস্টেম ব্যবহার করে। অন্য একটি কুল্যান্ট একটি নতুন ডিফোমিং এজেন্ট ব্যবহার করে, যা প্রধান উপাদানগুলোর সাথে ভালোভাবে সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে পারে, কোনো সংযোজনের প্রয়োজন হয় না, এর পরিমাণ কার্যকরভাবে এবং পরিমাণগতভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায়, অতিরিক্ত ব্যবহার কার্যকরভাবে প্রতিরোধ করা যায়, এর ব্যবহারও খুব সুবিধাজনক। সঠিক পরিষ্কারকরণ প্রক্রিয়ার মাধ্যমে, এর অবশিষ্টাংশ খুব কম মাত্রায় নিয়ন্ত্রণ করা যায়। জাপান এবং কয়েকটি দেশীয় নির্মাতা এই ফর্মুলা সিস্টেম গ্রহণ করে, তবে এর উচ্চ কাঁচামাল খরচের কারণে, এর মূল্যের সুবিধা সুস্পষ্ট নয়।

(2) আঠা এবং রেজিন সংস্করণ: ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং প্রক্রিয়ার পরবর্তী পর্যায়ে, আগত প্রান্তের কাছাকাছি সিলিকন ওয়েফারটি আগেই কেটে ফেলা হয়, বহির্গমন প্রান্তের সিলিকন ওয়েফারটি তখনও কাটা হয়নি, আগে কাটা ডায়মন্ড ওয়্যারটি রাবার স্তর এবং রেজিন প্লেট পর্যন্ত কাটতে শুরু করে, যেহেতু সিলিকন রডের আঠা এবং রেজিন বোর্ড উভয়ই ইপোক্সি রেজিন পণ্য, তাই এদের নরম হওয়ার তাপমাত্রা মূলত ৫৫ থেকে ৯৫℃-এর মধ্যে থাকে, যদি রাবার স্তর বা রেজিন প্লেটের নরম হওয়ার তাপমাত্রা কম হয়, তবে কাটিং প্রক্রিয়ার সময় এটি সহজেই গরম হয়ে নরম ও গলিত হয়ে যেতে পারে, যা স্টিল ওয়্যার এবং সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে লেগে যায়, ফলে ডায়মন্ড লাইনের কাটার ক্ষমতা কমে যায়, অথবা সিলিকন ওয়েফারগুলো রেজিন দ্বারা দাগযুক্ত হয়ে যায়, যা একবার লেগে গেলে ধুয়ে ফেলা খুব কঠিন, এই ধরনের দূষণ বেশিরভাগ ক্ষেত্রে সিলিকন ওয়েফারের প্রান্তের কাছাকাছি ঘটে।

(3) সিলিকন পাউডার: ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং প্রক্রিয়ায় প্রচুর পরিমাণে সিলিকন পাউডার উৎপন্ন হয়। কাটিংয়ের সাথে সাথে মর্টার কুল্যান্টে পাউডারের পরিমাণ ক্রমশ বাড়তে থাকে। যখন পাউডারের পরিমাণ যথেষ্ট বড় হয়, তখন তা সিলিকনের পৃষ্ঠে লেগে যায়। সিলিকন পাউডারের আকার ও আকৃতি ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিংয়ের ফলে এটি আরও সহজে সিলিকন পৃষ্ঠে শোষিত হয়, যা পরিষ্কার করা কঠিন করে তোলে। অতএব, কুল্যান্টের সতেজতা এবং গুণমান নিশ্চিত করুন এবং কুল্যান্টে পাউডারের পরিমাণ হ্রাস করুন।

(4) ক্লিনিং এজেন্ট: ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং নির্মাতারা বর্তমানে বেশিরভাগ ক্ষেত্রে একই সাথে মর্টার কাটিং ব্যবহার করে, এবং বেশিরভাগ ক্ষেত্রে মর্টার কাটিংয়ের প্রি-ওয়াশিং, ক্লিনিং প্রসেস এবং ক্লিনিং এজেন্ট ইত্যাদি ব্যবহার করে। একক ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং প্রযুক্তি কাটিং মেকানিজম থেকে শুরু করে একটি সম্পূর্ণ সেট লাইন তৈরি করে। কুল্যান্ট এবং মর্টার কাটিংয়ের মধ্যে বড় পার্থক্য রয়েছে, তাই ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিংয়ের জন্য সংশ্লিষ্ট ক্লিনিং প্রসেস, ক্লিনিং এজেন্টের ডোজ, ফর্মুলা ইত্যাদি যথাযথভাবে সমন্বয় করা উচিত। ক্লিনিং এজেন্ট একটি গুরুত্বপূর্ণ বিষয়, মূল ক্লিনিং এজেন্টের ফর্মুলায় থাকা সারফ্যাক্ট্যান্ট এবং ক্ষারীয়তা ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কার করার জন্য উপযুক্ত নয়। ডায়মন্ড ওয়্যার সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের জন্য নির্দিষ্ট ক্লিনিং এজেন্ট ব্যবহার করা উচিত, যা পৃষ্ঠের অবশিষ্টাংশ এবং উপাদানের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হবে এবং ক্লিনিং প্রসেসের সাথে ব্যবহার করা হবে। উপরে যেমন উল্লেখ করা হয়েছে, মর্টার কাটিংয়ের ক্ষেত্রে ডিফোমিং এজেন্টের প্রয়োজন হয় না।

(5) পানি: ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং, প্রি-ওয়াশিং এবং ক্লিনিং এর উপচে পড়া পানিতে অশুদ্ধি থাকে, যা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে শোষিত হতে পারে।

মখমলের মতো চুল সাদা দেখানোর সমস্যা কমানোর পরামর্শ

(1) ভালোভাবে ছড়িয়ে পড়া কুল্যান্ট ব্যবহার করতে হবে, এবং সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে কুল্যান্ট উপাদানগুলির অবশিষ্টাংশ কমাতে কুল্যান্টে কম-অবশিষ্টাংশ ডিফোমিং এজেন্ট ব্যবহার করা প্রয়োজন;

(2) সিলিকন ওয়েফারের দূষণ কমাতে উপযুক্ত আঠা এবং রজন প্লেট ব্যবহার করুন;

(3) ব্যবহৃত জলে যাতে কোনও সহজে অবশিষ্ট অশুদ্ধি না থাকে তা নিশ্চিত করার জন্য কুল্যান্টকে বিশুদ্ধ জল দিয়ে পাতলা করা হয়;

(4) ডায়মন্ড ওয়্যার কাট সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের জন্য, সক্রিয়তা এবং পরিষ্কার করার প্রভাব সহ আরও উপযুক্ত পরিষ্কারক এজেন্ট ব্যবহার করুন;

(5) কাটিং প্রক্রিয়ায় সিলিকন পাউডারের পরিমাণ কমাতে ডায়মন্ড লাইন কুল্যান্ট অনলাইন রিকভারি সিস্টেম ব্যবহার করুন, যাতে ওয়েফারের সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠে সিলিকন পাউডারের অবশিষ্টাংশ কার্যকরভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায়। একই সময়ে, এটি প্রি-ওয়াশিংয়ে জলের তাপমাত্রা, প্রবাহ এবং সময় উন্নত করতে পারে, যাতে সিলিকন পাউডার সময়মতো ধুয়ে ফেলা নিশ্চিত করা যায়।

(6) সিলিকন ওয়েফারটি ক্লিনিং টেবিলে রাখার সাথে সাথেই, এটিকে অবশ্যই অবিলম্বে প্রস্তুত করতে হবে এবং সম্পূর্ণ পরিষ্কার করার প্রক্রিয়া চলাকালীন সিলিকন ওয়েফারটিকে ভেজা রাখতে হবে।

(7) ডিগামিং প্রক্রিয়ায় সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠ ভেজা থাকে এবং এটি স্বাভাবিকভাবে শুকাতে পারে না। (8) সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কার করার প্রক্রিয়ায়, সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে ফুলের মতো দাগ তৈরি হওয়া রোধ করতে বাতাসে উন্মুক্ত থাকার সময় যতটা সম্ভব কমানো যেতে পারে।

(9) সম্পূর্ণ পরিষ্কার করার প্রক্রিয়া চলাকালীন পরিচ্ছন্নতাকর্মীরা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের সাথে সরাসরি সংস্পর্শে আসবে না এবং অবশ্যই রাবারের গ্লাভস পরবে, যাতে আঙুলের ছাপ না পড়ে।

(10) রেফারেন্স [2]-তে, ব্যাটারির প্রান্তে 1:26 আয়তন অনুপাতে (3% NaOH দ্রবণ) হাইড্রোজেন পারক্সাইড H2O2 + ক্ষার NaOH পরিষ্কার করার প্রক্রিয়া ব্যবহার করা হয়, যা কার্যকরভাবে সমস্যার ঘটনা কমাতে পারে। এর নীতি একটি সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন ওয়েফারের SC1 পরিষ্কার করার দ্রবণের (সাধারণত তরল 1 নামে পরিচিত) অনুরূপ। এর প্রধান প্রক্রিয়া: সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে H2O2-এর জারণের মাধ্যমে অক্সিডেশন ফিল্ম তৈরি হয়, যা NaOH দ্বারা ক্ষয়প্রাপ্ত হয়, এবং জারণ ও ক্ষয় বারবার ঘটে। অতএব, সিলিকন পাউডার, রজন, ধাতু ইত্যাদির সাথে সংযুক্ত কণাগুলিও ক্ষয় স্তরের সাথে পরিষ্কার করার তরলে পড়ে; H2O2-এর জারণের কারণে, ওয়েফারের পৃষ্ঠের জৈব পদার্থ CO2, H2O-তে পচে যায় এবং অপসারিত হয়। এই পরিষ্কার করার প্রক্রিয়াটি সিলিকন ওয়েফার নির্মাতারা ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কার করার জন্য ব্যবহার করে আসছে, দেশীয় এবং তাইওয়ান এবং অন্যান্য ব্যাটারি নির্মাতাদের ব্যাচ ব্যবহারের ক্ষেত্রে ভেলভেট হোয়াইট সমস্যার অভিযোগ রয়েছে। কিছু ব্যাটারি প্রস্তুতকারকও একই ধরনের ভেলভেট প্রি-ক্লিনিং প্রক্রিয়া ব্যবহার করেছে, যা ভেলভেট হোয়াইটের উপস্থিতি কার্যকরভাবে নিয়ন্ত্রণ করে। দেখা যায় যে, এই ক্লিনিং প্রক্রিয়াটি সিলিকন ওয়েফার ক্লিনিং প্রক্রিয়ার সাথে যুক্ত করা হয়, যাতে সিলিকন ওয়েফারের অবশিষ্টাংশ অপসারণ করে ব্যাটারির প্রান্তে সৃষ্ট হোয়াইট হেয়ারের সমস্যা কার্যকরভাবে সমাধান করা যায়।

উপসংহার

বর্তমানে, ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং একক ক্রিস্টাল কাটিংয়ের ক্ষেত্রে প্রধান প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি হয়ে উঠেছে, কিন্তু এই প্রক্রিয়ায় ভেলভেট হোয়াইট (মখমলের মতো সাদা দাগ) হওয়ার সমস্যাটি সিলিকন ওয়েফার এবং ব্যাটারি প্রস্তুতকারকদের জন্য উদ্বেগের কারণ হয়ে দাঁড়িয়েছে, যার ফলে ব্যাটারি প্রস্তুতকারকরা ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং করা সিলিকন ওয়েফার ব্যবহারে কিছুটা প্রতিরোধ গড়ে তুলেছেন। সাদা দাগের তুলনামূলক বিশ্লেষণের মাধ্যমে দেখা গেছে যে, এটি মূলত সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে জমে থাকা অবশিষ্টাংশের কারণে ঘটে। সেলের মধ্যে থাকা সিলিকন ওয়েফারের এই সমস্যাটি আরও ভালোভাবে প্রতিরোধ করার জন্য, এই গবেষণাপত্রে সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠ দূষণের সম্ভাব্য উৎসগুলো বিশ্লেষণ করা হয়েছে এবং উৎপাদনের ক্ষেত্রে উন্নতির জন্য পরামর্শ ও পদক্ষেপ তুলে ধরা হয়েছে। সাদা দাগের সংখ্যা, অঞ্চল এবং আকৃতি অনুসারে এর কারণগুলো বিশ্লেষণ ও উন্নত করা যেতে পারে। বিশেষ করে হাইড্রোজেন পারক্সাইড + ক্ষারীয় পরিশোধন প্রক্রিয়া ব্যবহারের সুপারিশ করা হয়েছে। সফল অভিজ্ঞতা প্রমাণ করেছে যে এটি ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং করা সিলিকন ওয়েফারে ভেলভেট হোয়াইট হওয়ার সমস্যা কার্যকরভাবে প্রতিরোধ করতে পারে, যা সাধারণ শিল্প সংশ্লিষ্ট ব্যক্তি এবং প্রস্তুতকারকদের জন্য একটি নির্দেশিকা হিসেবে কাজ করবে।


পোস্ট করার সময়: ৩০-মে-২০২৪