খবর

হীরার তারের কাটিয়া প্রযুক্তি একত্রীকরণ ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কাটিং প্রযুক্তি নামেও পরিচিত।এটি ইস্পাত তারের পৃষ্ঠে হীরা ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম একীভূত ইলেক্ট্রোপ্লেটিং বা রজন বন্ধন পদ্ধতির ব্যবহার, হীরার তার সরাসরি সিলিকন রড বা সিলিকন ইঙ্গটের পৃষ্ঠের উপর অভিনয় করে, নাকালের প্রভাব অর্জন করতে।ডায়মন্ড তারের কাটিয়া দ্রুত কাটিয়া গতি, উচ্চ কাটিয়া নির্ভুলতা এবং কম উপাদান ক্ষতি বৈশিষ্ট্য আছে.

বর্তমানে, ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং সিলিকন ওয়েফারের জন্য একক স্ফটিক বাজার সম্পূর্ণরূপে গৃহীত হয়েছে, তবে এটি প্রচারের প্রক্রিয়াতেও সম্মুখীন হয়েছে, যার মধ্যে মখমল সাদা সবচেয়ে সাধারণ সমস্যা।এই পরিপ্রেক্ষিতে, এই কাগজটি হীরার তারের কাটিং মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফার মখমল সাদা সমস্যা প্রতিরোধ করার উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে।

হীরার তারের কাটিং মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের পরিস্কার প্রক্রিয়াটি হল রজন প্লেট থেকে তারের করাত মেশিন টুল দ্বারা কাটা সিলিকন ওয়েফারটি অপসারণ করা, রাবার স্ট্রিপটি সরানো এবং সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কার করা।পরিষ্কারের সরঞ্জামগুলি মূলত একটি প্রাক-পরিষ্কার মেশিন (ডিগমিং মেশিন) এবং একটি পরিষ্কারের মেশিন।প্রি-ক্লিনিং মেশিনের প্রধান পরিস্কার প্রক্রিয়া হল: ফিডিং-স্প্রে-স্প্রে-আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং-ডিগমিং-ক্লিন ওয়াটার রিনিং-আন্ডারফিডিং।ক্লিনিং মেশিনের প্রধান পরিস্কার প্রক্রিয়া হল: খাওয়ানো-বিশুদ্ধ জল ধুয়ে-খাঁটি জল ধুয়ে-ক্ষার ধোয়া-ক্ষার ধোয়া-বিশুদ্ধ জল ধুয়ে-বিশুদ্ধ জল ধুয়ে-প্রি-ডিহাইড্রেশন (ধীরে তোলা) -শুকানো-খাওয়ানো।

একক-ক্রিস্টাল মখমল তৈরির নীতি

মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফার মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের অ্যানিসোট্রপিক ক্ষয়ের বৈশিষ্ট্য।প্রতিক্রিয়া নীতি হল নিম্নলিখিত রাসায়নিক বিক্রিয়া সমীকরণ:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

সংক্ষেপে, সোয়েড গঠন প্রক্রিয়া হল: বিভিন্ন স্ফটিক পৃষ্ঠের বিভিন্ন জারা হারের জন্য NaOH সমাধান, (111) এর চেয়ে (100) পৃষ্ঠের ক্ষয় গতি, তাই (100) অ্যানিসোট্রপিক ক্ষয় পরে একক সিলিকন ওয়েফার থেকে, অবশেষে পৃষ্ঠের উপর গঠিত (111) চার-পার্শ্বযুক্ত শঙ্কু, যথা "পিরামিড" গঠন (চিত্র 1 এ দেখানো হয়েছে)।কাঠামো তৈরি হওয়ার পরে, যখন আলো একটি নির্দিষ্ট কোণে পিরামিডের ঢালের সাথে ঘটবে, তখন আলো অন্য কোণে ঢালে প্রতিফলিত হবে, একটি গৌণ বা আরও বেশি শোষণ তৈরি করবে, এইভাবে সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের প্রতিফলন হ্রাস করবে। , অর্থাৎ আলোক ফাঁদ প্রভাব (চিত্র 2 দেখুন)।"পিরামিড" কাঠামোর আকার এবং অভিন্নতা যত ভাল হবে, ফাঁদের প্রভাব তত বেশি স্পষ্ট হবে এবং সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠতলের নিঃসরণ তত কম হবে।

চিত্র 1: ক্ষার উত্পাদনের পরে মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের মাইক্রোমর্ফোলজি

চিত্র 2: "পিরামিড" কাঠামোর আলোক ফাঁদ নীতি

একক ক্রিস্টাল সাদা করার বিশ্লেষণ

সাদা সিলিকন ওয়েফারের উপর ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ স্ক্যান করে, এটি পাওয়া গেছে যে এলাকায় সাদা ওয়েফারের পিরামিড মাইক্রোস্ট্রাকচারটি মূলত গঠিত হয়নি, এবং পৃষ্ঠে "মোম" অবশিষ্টাংশের একটি স্তর রয়েছে বলে মনে হচ্ছে, যখন সোয়েডের পিরামিড কাঠামো একই সিলিকন ওয়েফারের সাদা অংশে আরও ভালভাবে গঠিত হয়েছিল (চিত্র 3 দেখুন)।মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে অবশিষ্টাংশ থাকলে, পৃষ্ঠের অবশিষ্টাংশ থাকবে "পিরামিড" কাঠামোর আকার এবং অভিন্নতা তৈরি করা এবং স্বাভাবিক এলাকার প্রভাব অপর্যাপ্ত, ফলে একটি অবশিষ্ট মখমল পৃষ্ঠের প্রতিফলন স্বাভাবিক এলাকার চেয়ে বেশি, সাদা হিসাবে প্রতিফলিত চাক্ষুষ মধ্যে স্বাভাবিক এলাকার তুলনায় উচ্চ প্রতিফলন সঙ্গে এলাকা.সাদা এলাকার বন্টন আকৃতি থেকে দেখা যায়, এটি বড় এলাকায় নিয়মিত বা নিয়মিত আকৃতি নয়, তবে শুধুমাত্র স্থানীয় এলাকায়।এটি হওয়া উচিত যে সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের স্থানীয় দূষণকারীগুলি পরিষ্কার করা হয়নি, বা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের পরিস্থিতি সেকেন্ডারি দূষণের কারণে ঘটে।

চিত্র 3: মখমল সাদা সিলিকন ওয়েফারে আঞ্চলিক মাইক্রোস্ট্রাকচার পার্থক্যের তুলনা

সিলিকন ওয়েফার কাটা হীরার তারের পৃষ্ঠটি আরও মসৃণ এবং ক্ষতি কম হয় (চিত্র 4 এ দেখানো হয়েছে)।মর্টার সিলিকন ওয়েফারের সাথে তুলনা করে, ক্ষার এবং হীরার তারের কাটিং সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের প্রতিক্রিয়া গতি মর্টার কাটার মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের তুলনায় ধীর, তাই মখমলের প্রভাবে পৃষ্ঠের অবশিষ্টাংশের প্রভাব আরও স্পষ্ট।

চিত্র 4: (A) মর্টার কাট সিলিকন ওয়েফারের সারফেস মাইক্রোগ্রাফ (B) ডায়মন্ড ওয়্যার কাট সিলিকন ওয়েফারের সারফেস মাইক্রোগ্রাফ

হীরার তারের কাটা সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের প্রধান অবশিষ্ট উৎস

(1) কুল্যান্ট: ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং কুল্যান্টের প্রধান উপাদানগুলি হল সার্ফ্যাক্ট্যান্ট, ডিসপারসেন্ট, ডিফেমেজেন্ট এবং জল এবং অন্যান্য উপাদান।চমৎকার কর্মক্ষমতা সহ কাটিয়া তরল ভাল সাসপেনশন, বিচ্ছুরণ এবং সহজ পরিষ্কার ক্ষমতা আছে.সারফ্যাক্ট্যান্টগুলির সাধারণত ভাল হাইড্রোফিলিক বৈশিষ্ট্য থাকে, যা সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কারের প্রক্রিয়াতে পরিষ্কার করা সহজ।জলে এই সংযোজনগুলির ক্রমাগত নাড়াচাড়া এবং সঞ্চালন প্রচুর পরিমাণে ফেনা তৈরি করবে, যার ফলে কুল্যান্টের প্রবাহ হ্রাস পাবে, শীতল কার্যক্ষমতাকে প্রভাবিত করবে এবং মারাত্মক ফেনা এবং এমনকি ফেনা ওভারফ্লো সমস্যাগুলিও মারাত্মকভাবে ব্যবহারকে প্রভাবিত করবে।অতএব, কুল্যান্ট সাধারণত ডিফোমিং এজেন্টের সাথে ব্যবহার করা হয়।ডিফোমিং কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করার জন্য, ঐতিহ্যগত সিলিকন এবং পলিথার সাধারণত দরিদ্র হাইড্রোফিলিক হয়।পানিতে থাকা দ্রাবক খুব সহজে শোষণ করে এবং পরবর্তী পরিষ্কারের সময় সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে থাকে, ফলে সাদা দাগের সমস্যা হয়।এবং কুল্যান্টের প্রধান উপাদানগুলির সাথে ভালভাবে সামঞ্জস্যপূর্ণ নয়, তাই, এটিকে অবশ্যই দুটি উপাদানে তৈরি করতে হবে, প্রধান উপাদান এবং ডিফোমিং এজেন্টগুলি জলে যোগ করা হয়েছিল, ফেনা পরিস্থিতি অনুসারে ব্যবহারের প্রক্রিয়ার মধ্যে, পরিমাণগতভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে অক্ষম অ্যান্টিফোম এজেন্টের ব্যবহার এবং ডোজ, সহজেই অ্যানোমিং এজেন্টের অতিরিক্ত মাত্রার জন্য অনুমতি দিতে পারে, যা সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের অবশিষ্টাংশের বৃদ্ধির দিকে পরিচালিত করে, এটি পরিচালনা করা আরও অসুবিধাজনক, তবে, কাঁচামালের কম দামের কারণে এবং কাঁচা এজেন্ট ডিফোমিং উপকরণ, অতএব, অধিকাংশ গার্হস্থ্য কুল্যান্ট সব এই সূত্র সিস্টেম ব্যবহার;আরেকটি কুল্যান্ট একটি নতুন ডিফোমিং এজেন্ট ব্যবহার করে, প্রধান উপাদানগুলির সাথে ভালভাবে সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে পারে, কোন সংযোজন নেই, কার্যকরভাবে এবং পরিমাণগতভাবে এর পরিমাণ নিয়ন্ত্রণ করতে পারে, কার্যকরভাবে অত্যধিক ব্যবহার প্রতিরোধ করতে পারে, ব্যায়ামগুলি করাও খুব সুবিধাজনক, সঠিক পরিষ্কারের প্রক্রিয়া সহ, এর অবশিষ্টাংশগুলি খুব নিম্ন স্তরে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে, জাপানে এবং কয়েকটি দেশীয় নির্মাতারা এই ফর্মুলা পদ্ধতিটি গ্রহণ করে, তবে, এর উচ্চ কাঁচামালের দামের কারণে, এর দামের সুবিধা সুস্পষ্ট নয়।

(2) আঠালো এবং রজন সংস্করণ: হীরার তার কাটার প্রক্রিয়ার পরবর্তী পর্যায়ে, আগত প্রান্তের কাছে থাকা সিলিকন ওয়েফারটি আগেই কেটে ফেলা হয়েছে, আউটলেটের প্রান্তে থাকা সিলিকন ওয়েফারটি এখনও কাটা হয়নি, প্রাথমিকভাবে কাটা হীরা তারটি রাবার স্তর এবং রজন প্লেটে কাটা শুরু করেছে, যেহেতু সিলিকন রড আঠালো এবং রজন বোর্ড উভয়ই ইপোক্সি রজন পণ্য, এর নরমকরণ বিন্দু মূলত 55 এবং 95℃ এর মধ্যে, যদি রাবার স্তর বা রজনটির নরমকরণ বিন্দু প্লেট কম, এটি কাটার প্রক্রিয়া চলাকালীন সহজেই গরম হতে পারে এবং এটি নরম হয়ে গলে যেতে পারে, স্টিলের তার এবং সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের সাথে সংযুক্ত, হীরা লাইনের কাটার ক্ষমতা হ্রাস পাওয়ার কারণে, বা সিলিকন ওয়েফারগুলি প্রাপ্ত হয় এবং রজন দিয়ে দাগযুক্ত, একবার সংযুক্ত হলে, এটি ধুয়ে ফেলা খুব কঠিন, এই ধরনের দূষণ বেশিরভাগই সিলিকন ওয়েফারের প্রান্তের প্রান্তের কাছে ঘটে।

(3) সিলিকন পাউডার: হীরার তার কাটার প্রক্রিয়ায় প্রচুর সিলিকন পাউডার তৈরি হবে, কাটার সাথে, মর্টার কুল্যান্ট পাউডারের পরিমাণ আরও বেশি হবে, যখন পাউডারটি যথেষ্ট বড় হবে, তখন সিলিকন পৃষ্ঠের সাথে লেগে থাকবে, এবং সিলিকন পাউডার আকার এবং আকারের হীরার তারের কাটা সিলিকন পৃষ্ঠে শোষণ করা সহজ করে তোলে, এটি পরিষ্কার করা কঠিন করে তোলে।অতএব, কুল্যান্টের আপডেট এবং গুণমান নিশ্চিত করুন এবং কুল্যান্টে পাউডারের পরিমাণ কমিয়ে দিন।

(4) ক্লিনিং এজেন্ট: ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং ম্যানুফ্যাকচারারদের বর্তমান ব্যবহার বেশিরভাগ একই সময়ে মর্টার কাটিং ব্যবহার করে, বেশিরভাগই মর্টার কাটিং প্রিওয়াশিং, ক্লিনিং প্রসেস এবং ক্লিনিং এজেন্ট ইত্যাদি ব্যবহার করে, কাটিং মেকানিজম থেকে একক ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং প্রযুক্তি, গঠন করে লাইনের সম্পূর্ণ সেট, কুল্যান্ট এবং মর্টার কাটিংয়ের মধ্যে বড় পার্থক্য রয়েছে, তাই সংশ্লিষ্ট পরিষ্কারের প্রক্রিয়া, ক্লিনিং এজেন্ট ডোজ, সূত্র, ইত্যাদি হীরার তারের কাটার জন্য সংশ্লিষ্ট সমন্বয় করা উচিত।ক্লিনিং এজেন্ট একটি গুরুত্বপূর্ণ দিক, মূল ক্লিনিং এজেন্ট সূত্র সার্ফ্যাক্ট্যান্ট, ক্ষারত্ব হীরার তারের কাটা সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কার করার জন্য উপযুক্ত নয়, হীরার তারের সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের জন্য হওয়া উচিত, লক্ষ্যযুক্ত পরিচ্ছন্নতার এজেন্টের রচনা এবং পৃষ্ঠের অবশিষ্টাংশগুলি এবং সঙ্গে নেওয়া পরিষ্কারের প্রক্রিয়া।উপরে উল্লিখিত হিসাবে, মর্টার কাটাতে ডিফোমিং এজেন্টের রচনার প্রয়োজন নেই।

(5) জল: হীরার তারের কাটা, প্রি-ওয়াশিং এবং পরিষ্কার করা ওভারফ্লো জলে অমেধ্য রয়েছে, এটি সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে শোষিত হতে পারে।

মখমলের চুল সাদা করার সমস্যা কমাতে পরামর্শ

(1) ভাল বিচ্ছুরণ সহ কুল্যান্ট ব্যবহার করতে, এবং সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের কুল্যান্ট উপাদানগুলির অবশিষ্টাংশ কমাতে কুল্যান্টকে কম-অবশিষ্ট ডিফোমিং এজেন্ট ব্যবহার করতে হবে;

(2) সিলিকন ওয়েফারের দূষণ কমাতে উপযুক্ত আঠা এবং রজন প্লেট ব্যবহার করুন;

(3) কুল্যান্টকে বিশুদ্ধ পানি দিয়ে মিশ্রিত করা হয় যাতে ব্যবহৃত পানিতে কোনো সহজে অবশিষ্ট অমেধ্য নেই;

(4) হীরার তারের কাটা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের জন্য, কার্যকলাপ এবং পরিষ্কারের প্রভাব আরও উপযুক্ত পরিস্কার এজেন্ট ব্যবহার করুন;

(5) কাটিং প্রক্রিয়ায় সিলিকন পাউডারের সামগ্রী কমাতে ডায়মন্ড লাইন কুল্যান্ট অনলাইন পুনরুদ্ধার সিস্টেম ব্যবহার করুন, যাতে কার্যকরভাবে ওয়েফারের সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠে সিলিকন পাউডারের অবশিষ্টাংশ নিয়ন্ত্রণ করা যায়।একই সময়ে, এটি সিলিকন পাউডার সময়মতো ধোয়া নিশ্চিত করতে জলের তাপমাত্রা, প্রবাহ এবং প্রাক ধোয়ার সময় উন্নতি করতে পারে।

(6) একবার সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কার করার টেবিলে স্থাপন করা হলে, এটি অবিলম্বে চিকিত্সা করা আবশ্যক, এবং পুরো পরিষ্কারের প্রক্রিয়া চলাকালীন সিলিকন ওয়েফারটি ভেজা রাখতে হবে।

(7) সিলিকন ওয়েফার ডিগমিং প্রক্রিয়ায় পৃষ্ঠকে ভিজা রাখে এবং প্রাকৃতিকভাবে শুকাতে পারে না।(8) সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কারের প্রক্রিয়ায়, সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে ফুলের উত্পাদন রোধ করতে বাতাসে উন্মুক্ত সময় যতটা সম্ভব কমানো যেতে পারে।

(9) পরিচ্ছন্নতা কর্মীরা সম্পূর্ণ পরিষ্কারের প্রক্রিয়া চলাকালীন সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের সাথে সরাসরি যোগাযোগ করবেন না এবং অবশ্যই রাবারের গ্লাভস পরতে হবে, যাতে ফিঙ্গারপ্রিন্ট প্রিন্টিং তৈরি না হয়।

(10) রেফারেন্সে [2], ব্যাটারির প্রান্তটি 1:26 (3%NaOH সমাধান) এর ভলিউম অনুপাত অনুসারে হাইড্রোজেন পারক্সাইড H2O2 + ক্ষার NaOH পরিস্কার প্রক্রিয়া ব্যবহার করে, যা কার্যকরভাবে সমস্যার ঘটনা কমাতে পারে।এর নীতিটি একটি সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন ওয়েফারের SC1 পরিস্কার সমাধানের (সাধারণত তরল 1 নামে পরিচিত) অনুরূপ।এর প্রধান প্রক্রিয়া: সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের অক্সিডেশন ফিল্মটি H2O2 এর জারণ দ্বারা গঠিত হয়, যা NaOH দ্বারা ক্ষয়প্রাপ্ত হয় এবং জারণ এবং ক্ষয় বারবার ঘটে।অতএব, সিলিকন পাউডার, রজন, ধাতু, ইত্যাদির সাথে সংযুক্ত কণাগুলিও ক্ষয় স্তরের সাথে পরিষ্কারের তরলে পড়ে;H2O2 এর অক্সিডেশনের কারণে, ওয়েফার পৃষ্ঠের জৈব পদার্থ CO2, H2O তে পচে যায় এবং সরানো হয়।পরিষ্কারের এই প্রক্রিয়াটি সিলিকন ওয়েফার নির্মাতারা এই প্রক্রিয়াটি ব্যবহার করে ডায়মন্ড তারের কাটিং একক সিলিকন ওয়েফার, গার্হস্থ্য এবং তাইওয়ানের সিলিকন ওয়েফার এবং মখমল সাদা সমস্যা অভিযোগের ব্যাচ ব্যাচ ব্যবহার করে সিলিকন ওয়েফার ব্যবহার করে।এছাড়াও ব্যাটারি নির্মাতারা অনুরূপ মখমল প্রাক-পরিষ্কার প্রক্রিয়া ব্যবহার করেছেন, এছাড়াও কার্যকরভাবে মখমল সাদা চেহারা নিয়ন্ত্রণ.এটি দেখা যায় যে এই পরিস্কার প্রক্রিয়াটি সিলিকন ওয়েফারের অবশিষ্টাংশ অপসারণের জন্য সিলিকন ওয়েফার পরিষ্কারের প্রক্রিয়াতে যুক্ত করা হয়েছে যাতে ব্যাটারির শেষে সাদা চুলের সমস্যা কার্যকরভাবে সমাধান করা যায়।

উপসংহার

বর্তমানে, হীরার তারের কাটা একক ক্রিস্টাল কাটার ক্ষেত্রে প্রধান প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তিতে পরিণত হয়েছে, তবে মখমল সাদা করার সমস্যাটি প্রচারের প্রক্রিয়ায় সিলিকন ওয়েফার এবং ব্যাটারি প্রস্তুতকারকদের সমস্যায় ফেলেছে, যার ফলে ব্যাটারি নির্মাতারা হীরার তারের সিলিকন কাটার দিকে পরিচালিত করে। ওয়েফার কিছু প্রতিরোধের আছে.সাদা অংশের তুলনা বিশ্লেষণের মাধ্যমে, এটি মূলত সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের অবশিষ্টাংশের কারণে ঘটে।কোষে সিলিকন ওয়েফারের সমস্যাকে আরও ভালভাবে প্রতিরোধ করার জন্য, এই কাগজটি সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠ দূষণের সম্ভাব্য উত্সগুলির পাশাপাশি উত্পাদনের উন্নতির পরামর্শ এবং ব্যবস্থাগুলি বিশ্লেষণ করে৷সাদা দাগের সংখ্যা, অঞ্চল এবং আকৃতি অনুসারে কারণগুলি বিশ্লেষণ করে উন্নত করা যেতে পারে।এটি বিশেষ করে হাইড্রোজেন পারক্সাইড + ক্ষার পরিষ্কারের প্রক্রিয়া ব্যবহার করার পরামর্শ দেওয়া হয়।সফল অভিজ্ঞতা প্রমাণ করেছে যে এটি কার্যকরভাবে হীরার তারের কাটা সিলিকন ওয়েফার তৈরির মখমল সাদা করার সমস্যা প্রতিরোধ করতে পারে, সাধারণ শিল্পের অভ্যন্তরীণ এবং নির্মাতাদের রেফারেন্সের জন্য।